慣性衝突式分粒装置に関する次の記述の㋑から㋩の［　］に入る語句の組合せとして、正しいものは下のうちどれか。「慣性衝突式分粒装置は、［㋑］粉じんを分離・捕集するために用い、定められた流量で捕集したとき［㋺］の粒径の粒子の 50 ％ が衝突板に捕集される。吸引流量が低下したときは 50 ％ 分粒粒径は［㋩］なる。」