慣性衝突式分粒装置に関する次の記述の㋑から㋥の［　］に入る語句の組合せとして、適当なものは下のうちどれか。

「慣性衝突式分粒装置は、［㋑］粉じんを分離・捕集するために用い、定められた流量で捕集したとき4μmの粒径の粒子の50%が［㋺］に捕集される。このとき、粒径が［㋩］粒子ほど［㋥］効率で［㋺］に捕集される。」